Son zamanlarda, yerli malzeme bilimi ve teknoloji işletmeleri, 99 .%999'a kadar saflıkta yeni bir tür silikon karbür seramik malzemesi başarılı bir şekilde geliştirmiştir ve bu atılım, yarı iletken süreç gereksinimleri ile birlikte, yarı iletken süreç gereksinimleri ile devam eden, yarı iletken üretim ekipmanlarının performansını ve güvenilirliğini önemli ölçüde artıracaktır; Yurtiçi yarı iletken ekipmanların yükseltilmesi için bu teknolojik atılım, önemli malzeme desteği sağlar.
Teknik atılım vurguları:
1. Ultra-yüksek saflık kontrolü: Metal safsızlık içeriği, yenilikçi buhar faz biriktirme işlemi ve saflaştırma teknolojisi ile 0 . 1ppm'nin altına, 7nm ve daha düşük sürecin gereksinimlerini karşılamaktadır.
2. Mükemmel termal performans: 270W/mk termal iletkenlik ile 1000 derecede kararlı performans .
3. Mükemmel korozyon direnci: güçlü asitlere, güçlü bazlara ve plazma korozif ortamlara dirençli .
Yarıiletken Ekipman Uygulama Avantajları:
1. gravür ekipmanı: Metal kontaminasyonunu azaltmak ve dağlama homojenliğini artırmak için boşluk astar malzemesi olarak kullanılır
2. epitaksiyal büyüme: epitaksiyal tabakanın kalitesini sağlamak için tepsiler ve bazlar olarak kullanılır .
3. İyon İmplantasyonu: Geleneksel kuvars bileşenlerini değiştirir ve ekipman bakım aralıklarını genişletir .
Ceramicstimes'dan bir uzman, "Yarıiletken üretimi daha ince işlem düğümlerine doğru ilerliyor ve yüksek saflıkta silikon karbür seramikleri yeni nesil ekipman için önemli bir malzeme haline gelecek . Bu atılım, Çin'in yarı iletken ekipman için ithal malzemelere bağımlılığını etkili bir şekilde azaltacak ."
Şu anda, materyal, büyük yerli yarı iletken ekipman üreticilerinin doğrulama testlerini geçti ve 2024.}}}2024.}}} dördüncü çeyreğinde, yüksek saflıkta silikon karbi seramiklerine yönelik piyasa talebinin hızlı bir şekilde gelişmesi bekleniyor ve küresel pazarın 5'e kadar büyümesi bekleniyor. yuan .
İş Dinamikleri:
Ceramicstimes, özel bir üretim hattı oluşturmak için 500 milyon yuan yatırdı, proje yıllık üretim kapasitesinin 200'e kadar üretim kapasitesinin tamamlanması, 000 parçaları, aynı zamanda yerli yarı iletken ekipman üreticilerinin ihtiyaçlarını etkili bir şekilde karşılayacaktır. Çözümler .
Bu teknolojik atılım sadece yerli yüksek saflıkta silikon karbür seramiklerinin boşluğunu doldurmakla kalmaz, Çin'in yarı iletken ekipmanının daha bağımsız kontrolü, önemli bir malzeme garantisi sağlar, yarı iletken endüstri zincirinin lokalizasyon sürecini güçlü bir şekilde teşvik edecektir .
