Alümina Seramik Biriktirme Halkaları, yarı iletken çip üretiminde Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) ve Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) ekipmanı-çekirdek cihazlarının reaksiyon odaları içinde kritik sarf malzemesi bileşenleri olarak hizmet eder. Malzeme seçimi ve uygulama talepleri son derece katıdır. Tipik olarak levha taşıyıcıların (elektrostatik aynalar) etrafına monte edilirler ve proses reaksiyon alanının bir parçasını oluştururlar. Zorlu yarı iletken üretim ortamında, biriktirme halkasının birincil rolü, pahalı çekirdek bileşenleri (elektrostatik aynalar gibi) kirlenmeden ve proses yan ürünlerinin birikmesinden korumak, proses tekdüzeliğini sağlamak ve haznenin temizliğini ve stabilitesini korumaktır. Performansı, ekipmanın çalışma süresini, bakım maliyetlerini ve nihai talaş verimini doğrudan etkiler. Bu tür bileşenler, alümina seramik malzemenin yüksek saflığı ve üstün performansı için sıkı gereksinimler gerektiren hassas alümina seramik işleme kategorisine girmektedir.
Seramik performans parametresi
Anahtar Özellikler
- Olağanüstü Korozyon Direnci: CVD/PVD proseslerinde kullanılan çeşitli aşındırıcı, yüksek derecede reaktif plazma gazlarından kaynaklanan erozyona dayanabilir ve daha uzun hizmet ömrü sağlar.
- Üstün-Sıcaklık Direnci: Deformasyon veya erime olmadan yüzlerce hatta binlerce santigrat dereceye ulaşan proses sıcaklıklarında yapısal stabiliteyi ve performansı korur ve yüksek-sıcaklık alümina seramik özelliklerini gösterir.
- Yüksek Saflık ve Düşük Kirlilik: Yüksek-saflıktaki alümina seramikler (örneğin, %99,9 veya daha yüksek), metal iyonları gibi kirletici maddelerin yüksek-sıcaklık ve plazma koşulları altında malzemenin kendisinden işlem odasına salınmasını en aza indirerek levha kirlenmesini önler.
- Mükemmel Mekanik Mukavemet ve Sertlik: Mekanik gerilimlere ve montaj kuvvetlerine karşı koyarken boyutsal stabiliteyi korumak için yeterli sertliğe sahiptir. Sağlam mekanik özellikler, ister alümina seramik plakalar, ister alümina seramik çubuklar (alümina çubuklar) veya alümina tüpler olsun-tüm formların temelini oluşturur.
- Üstün Yalıtım: Yalıtım malzemesi olarak alümina seramik, elektrostatik aynanın levhalara yapışma işlevine müdahale etmez, proses güvenliği ve stabilitesi sağlar.
- Orta Derecede Isı İletkenliği: Aşırı ısınmayı önlerken hazne içindeki sıcaklık alanını homojenleştirmeye yardımcı olur.
- Yüksek Hassasiyet ve İşlenebilirlik: Gelişmiş seramik şekillendirme teknikleri ve hassas işleme sayesinde olağanüstü boyutsal doğruluk ve yüzey kalitesine sahip karmaşık şekiller elde edilebilir.
Ürün uygulaması
- Hammaddeler: Özellikle yüksek-saflıkta alümina seramikleri için ince alümina tozu gerekir. Alüminyum oksit (Al2O3) temel kimyasaldır.
- Şekillendirme ve Sinterleme: Alümina seramik boşlukları üretmek için teknikler kullanan alümina seramik üreticilerini kapsar.
- Hassas İşleme: Alümina seramik işleme uzmanları veya parça tedarikçileri tarafından gerçekleştirilir ve boşluklar, alümina seramik plakalar, alümina seramik çubuklar veya karmaşık alümina seramik yapısal parçalar gibi nihai bileşenlere dönüştürülür.
- Diğer Formlar ve Uygulamalar: Biriktirme halkalarının ötesinde, alümina seramiklerin, ambalajlama için alümina seramik substratlar (al2o3 substrat), alümina seramik membranlar ve yalıtım için alümina fiber tüpler gibi çeşitli yarı iletken kullanımları vardır.
Kalite Kontrol
Tutarlılığı sağlamak için ISO 9001 kalite yönetim sistemini sıkı bir şekilde takip ediyoruz:
- %100 hammadde denetimi
- Gelişmiş sıcak-presleme üretim hatları
- {0}Şirket içi testler: yoğunluk, sertlik, mikro yapı analizi
- Üçüncü-taraf sertifikaları (talep üzerine SGS, CE, ROHS mevcuttur)
Popüler Etiketler: silisyum karbür odak halkası, silisyum karbür odak halkası üreticileri, tedarikçiler, fabrika
