Ürün Açıklaması

Yarı iletken seramik halka, yarı iletken üretim süreçlerinin kritik aşamalarında kullanılan yüksek-performanslı bir özel seramik bileşendir. Genellikle yüksek-saflıkta, yüksek-yoğunlukta, hassas seramik malzemelerden yapılır ve dairesel bir halka yapısına sahiptir. Difüzyon, oksidasyon, kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve aşındırma gibi işlemler için kullanılan yarı iletken ekipmanların reaksiyon odalarında önemli bir sarf malzemesi parçası olarak hizmet eder.

Birincil işlevleri arasında, yüksek sıcaklıklar, son derece aşındırıcı gazlar, plazma bombardımanı ve hızlı termal döngü dahil olmak üzere aşırı çalışma koşullarına ({0}}dayanırken silikon levhaları desteklemek (veya belirli proses gazı ortamları ve tekdüze akış alanları oluşturmak) yer alır. Bu nedenle performansı, proses stabilitesini, tekdüzeliği, partikül kirliliği kontrolünü ve nihai olarak nihai talaş ürününün verimini doğrudan etkiler.

Semiconductor Ceramic Rings

ürün detayları

Ürün adı	Yarı İletken Seramik Halka
Renk	Müşterinin gereksinimlerine göre özelleştirilmiş
boyut	Müşterinin gereksinimlerine göre özelleştirilmiş
Ambalajlama	Karton / Palet / Tahta sandık (Müşteri ihtiyacına göre)
Teslimat süresi	Standart Ürün-3 gün içinde
Ürün Tasarımı	Müşterinin çizimine veya örneklerine göre
Özellikler	Kaliteli, düşük fiyat, Birden fazla fabrika, bulunduğunuz yere en yakın olanı temel alarak size teslimat yapar
Başvuru	Endüstriyel Seramikler
Sertifika	ISO, CE

Temel Performans Özellikleri

Yüksek saflıkta malzeme

Yüksek-saflıkta seramik hammaddelerinin seçimi, yarı iletken üretim sürecinde yabancı maddelerin karışmasını etkili bir şekilde azaltır. Yarı iletken seramik halkalar genellikle Alüminyum oksit, Silikon nitrür vb. gibi yüksek-saflıkta seramik malzemelerden yapılır. Son derece yüksek sertliğe sahiptirler ve işleme sırasında mekanik gerilime dayanabilirler, böylece çipin verim oranını ve performans stabilitesini etkili bir şekilde garanti altına alabilirler.

Mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı

Yarı iletken üretiminin karmaşık süreç akışında, difüzyon ve tavlama gibi birçok önemli süreç adımının, zorlu yüksek-sıcaklık ortamlarında gerçekleştirilmesi gerekir. Yarı iletken seramik halka bu konuda olağanüstü bir performans sergiledi ve yüzlerce, hatta binlerce derecelik yüksek sıcaklıklara dayanabiliyor. Bu tür aşırı yüksek sıcaklık koşullarında bile yarı iletken seramik halka, iyi mekanik mukavemeti ve yapısal bütünlüğü hala sıkı bir şekilde koruyabilir. Ayrıca, yüksek veya düşük sıcaklıktaki hızlı değişimlerle karşı karşıya kalsanız da, yarı iletken seramik halka deformasyon, çatlama veya yumuşama gibi herhangi bir olumsuz durum göstermez. Bu, yarı iletken üretiminde yüksek sıcaklıktaki süreçlerin sorunsuz ilerlemesi için-son derece sağlam ve güvenilir bir destek sağlayarak-talaşların kalitesini ve verimini büyük ölçüde artırır.

Mükemmel kimyasal stabilite

Yarı iletken seramik halkalar mükemmel kimyasal stabiliteye, çeşitli kimyasallara karşı mükemmel korozyon direncine sahiptir ve zorlu işleme ortamlarında stabil kalarak çip üretim sürecinin saflığını ve güvenilirliğini sağlar.

Hassas boyut kontrolü

Yarı iletken seramik halkaların üretim süreci son derece yüksek boyutsal doğruluk elde edebilir. Yarı iletken seramik halkanın iç çapı, dış çapı, kalınlığı ve yüzey düzlüğü gibi parametreleri son derece küçük toleranslar dahilinde hassas bir şekilde kontrol edilebilir. Çip üretim ekipmanlarında bu hassas boyut adaptasyonu çok önemlidir. Yarı iletken seramik halka, proses gazları ve sıvılarının tekdüze akışını ve elektrik alanları ve manyetik alanlar gibi fiziksel alanların tekdüze dağılımını sağlamak için levhalar, elektrotlar, reaksiyon odaları vb. diğer bileşenlerle mükemmel bir şekilde işbirliği yapabilir, böylece çip üretim sürecinde proses tekdüzeliğini ve tekrarlanabilirliğini iyileştirir ve büyük-ölçekli, yüksek-verimli ve yüksek-kaliteli çip üretimi elde edilmesine yardımcı olur.

İyi elektrik yalıtım performansı

Yarı iletken seramik halkalar mükemmel elektriksel yalıtım özelliklerine sahiptir ve yüksek gerilimlere bozulmadan dayanabilir. Bu özellik, yarı iletken seramik halkaların, çip üretim ekipmanının elektrot sistemi ve devre bağlantı parçaları gibi önemli konumlarda yalıtkan ve yalıtkan bir rol oynamasını sağlayarak, yarı iletken üretim süreci sırasında elektrik sisteminin güvenliğini ve stabilitesini sağlar ve elektrik sorunlarından kaynaklanan çip hasarlarını veya üretim kazalarını önler.

Piyasa Uygulaması

Yarı iletken seramik halkalar öncelikle entegre devre imalatının üç temel alanında kullanılır: difüzyon/termal işlem, kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve kuru aşındırma (Etch).

Difüzyon/Oksidasyon/LPCVD Süreçleri

Yüksek sıcaklıktaki fırın tüplerinde, birden fazla silikon levhayı yatay veya dikey olarak istiflemek ve desteklemek için seramik halkalar (genellikle "tekne kürekleri" veya "tekneler" olarak anılır) kullanılır. 1200 dereceye kadar sıcaklıklarda, tüm levhalar için tek biçimli ısıtma ve kirlenme-içermeyen koşullar sağlamalıdırlar. Alümina seramik halkalar bu tür uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Prosesleri

CVD reaksiyon odalarında seramik halkalar, hassaslaştırıcılar veya oda astarları olarak görev yapar, levhaları destekler ve reaksiyon gazı akış alanlarını optimize eder. Düzgün termal iletkenlikleri tutarlı film birikimi elde etmek için kritik öneme sahiptir. Alüminyum nitrür seramik halkalar, mükemmel ısı iletkenliklerinden dolayı bu alanda yaygın olarak kullanılmaktadır.

Kuru Aşındırma İşlemleri

Bu seramik halkalar için en zorlu uygulamalardan biridir. Yüksek-enerjili plazmalar ve aşındırıcı gazlarla dolu aşındırma odalarında, seramik halkalar odak halkaları, sınırlama halkaları veya oda astarları olarak işlev görür. Başlıca rolleri plazma dağıtım tekdüzeliğini kontrol etmek, metal hazne duvarlarını korozyondan korumak ve partikül kirliliğini azaltmaktır.İtriyum oksit (Y₂O₃) seramik halkalarflor-bazlı plazma erozyonuna karşı benzersiz dirençleri nedeniyle ileri dağlama işlemleri için tercih edilen seçenek haline geldi.

Diğer Yardımcı Kullanımlar

Ayrıca ölçüm veya transfer sistemlerinde yalıtım bileşenleri olarak veya levha işleme robotiğinde limit halkaları olarak da görev yapabilirler.

Ürün performansı

Sayı	Performans	Birim	Alüminyum Nitrür
			Alüminyum Nitrür
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Yoğunluk	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Eğilme mukavemeti	MPa	340~360	400~420
3	Kırılma tokluğu	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Dielektrik sabiti	εr(20 derece, 1MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Sertlik	not ortalaması	12-16
	Sertlik	sıcak rulo	75-80
6	Hacim direnci	Ω·cm(20 derece)	10 10	10 10
7	Elastik modül	not ortalaması	310	320
8	Termal genleşme katsayısı	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Basınç dayanımı	MPa	2100	2000
10	sıyrıklar	gr/cm2	0.01	0.01
11	Isı iletkenliği	W/m×k(20 derece)	200~220	160~180
12	Poisson oranı	/	0.24	0.24
13	Yalıtım gücü	kv/mm	26~28	30~32
14	Sıcaklık	derece	2500	2500

kalite kontrol

ISO 9001 Kalite Yönetim Sistemine sıkı sıkıya bağlı kalarak, yüksek-kaliteli ürünlerin tutarlı bir şekilde teslim edilmesini sağlamak için tam-süreç kalite kontrolü uyguluyoruz:

• Hammaddelerin %100 denetimi, kaynaktan kalitenin garanti edilmesi
• İstikrarlı ve güvenilir süreçler için gelişmiş sıcak-presleme üretim hatlarının kullanılması
• Yoğunluk, sertlik ve mikro yapı analizini kapsayan kapsamlı-şirket içi test sistemi
• Üçüncü-taraf yetkili sertifikaların mevcudiyeti (talep üzerine sağlanan SGS, CE, ROHS vb. dahil)

Müşterilerimize tutarlı ve güvenilir ürün güvencesi sağlayarak yönetim sistemimizi sürekli iyileştirmeye kararlıyız.

certificate

neden bizi seçmelisiniz?

Biz çeşitli Yarı İletken seramik halkaların profesyonel üreticisi ve tedarikçisiyiz. Profesyonel bir Yarı İletken seramik halka üretim fabrikamız ve ekibimiz var. Ayrıca Yarıiletken seramik halka konusunda da uzmanlaşıyoruz ve Amerika Birleşik Devletleri'nde bir şirketimiz var. Açık konuşmak gerekirse oldukça profesyonel ve samimi hizmet veriyoruz. Yüksek-kaliteli Yarı İletken seramik halka veya diğer seramik üreticileri ve uzun-vadeli yurtdışı iş ortaklarına ihtiyacınız varsa lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin. Zorluk düzeyi yüksek-her türlü özelleştirmeyi destekliyoruz ve ihtiyaçlarınızı karşılamak için elimizden geleni yapacağız.

Seramik ayna ile ilgili sorularınız varsa tıklayabilirsiniz.Bize Ulaşınbutonuna hemen bastığınızda, sorularınızı yanıtlayacak profesyonel müşteri hizmetleri karşınızda olacaktır.
Ziyaretinizi sabırsızlıkla bekliyorum!