Ürün Açıklaması
Yarı iletken üretiminin son teknoloji alanında, alümina seramik hazne ekleri, kritik işlem hazneleri için astar ve çekirdek sarf malzemeleri olarak hizmet eder. Olağanüstü malzeme özellikleriyle, talaş aşındırma, ince-film biriktirme (CVD/PVD) ve iyon implantasyonu gibi temel işlemler için kararlı, saf ve dayanıklı bir reaksiyon ortamı sağlarlar. Performansları proses hassasiyetini, üretim verimini ve ekipman işletme maliyetlerini doğrudan etkiler.
Ürün performansı
- Olağanüstü Plazma Korozyon Direnci: Aşındırma ve CVD işlemleri sırasında, bölmeler yüksek-enerjili, oldukça reaktif plazmalarla (örn. flor- veya klor-bazlı) doldurulur. Yüksek-saflıktaki alümina seramikler aşırı kimyasal eylemsizlik sergileyerek bu tür plazmalardan kaynaklanan bombardımana ve kimyasal erozyona etkili bir şekilde direnç gösterir.
- Olağanüstü Saflık ve Düşük Kirlilik: %99,9 alümina seramiklerin-ve hatta %99,99 alümina seramiklerin-yüksek saflığı, yüksek sıcaklık ve plazma koşulları altında metal iyonlarının (ör. Na, K, Fe) veya diğer yabancı maddelerin minimum düzeyde salınmasını- sağlar.
- Üstün Yüksek-Sıcaklık Kararlılığı ve Düşük Gaz Çıkış Oranı: Yüksek-sıcaklığa-dayanıklı alümina seramikler, 1600 derecede uzun-vadeli stabiliteyi korur. Nispeten düşük termal genleşme katsayıları, tekrarlanan termal döngü sırasında minimum deformasyonla sonuçlanır.
- Olağanüstü mekanik mukavemet ve sertlik: Yüksek-saflıktaki alümina seramik, seramik olmasına rağmen olağanüstü bükülme mukavemeti ve sertlik sergiler (Mohs sertliği 9, elmastan sonra ikinci). Mekanik gerilimlere ve montaj yüklerine dayanarak odanın yapısal bütünlüğünü sağlar.
- Mükemmel Yalıtım Özellikleri: Üstün bir elektrik yalıtkanı olarak plazmayı metal boşluklardan etkili bir şekilde izole ederek plazma morfolojisi ve dağılımının hassas kontrolüne yardımcı olur.
- Termal Şok Direnci: Optimize edilmiş malzeme formülasyonları ve mikroyapısal kontrol sayesinde modern alümina yapısal seramikler, gelişmiş termal şok direnci sergileyerek, işleme sırasında hızlı sıcaklık dalgalanmalarına dayanmalarını sağlar ve çatlama riskini azaltır.
Ürün uygulaması
- Ana haznenin korunması: İşlem sırasında oluşan reaksiyon yan ürünlerinin (film malzemeleri ve yan ürün parçacıkları varsa) pahalı ve temizlenmesi zor-temizlenmesi-zor olan kalıcı hazne duvarları ve kritik bileşenler üzerinde doğrudan birikmesini önler, ana ekipmanın hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatır ve bakım maliyetlerini azaltır.
- Proses Temizliğini Koruyun: Kirletici maddeleri ve yan ürünleri yakalayarak hazne içindeki parçacık kaynaklarını azaltın. Kesici uç yüzeyleri aşırı kalınlaştığında veya aşırı derecede kirlendiğinde, doğrudan değiştirilebilirler, bu da hazne temizliğini hızla eski haline getirir ve ürün verimini korur.
- Proses Performansını Optimize Edin: Belirli parçalar (gaz dağıtım plakaları varsa) doğrudan prosese katılarak reaksiyon gazlarının hazne içerisinde eşit dağılımını sağlar. Bu, film biriktirme veya dağlamada tekdüzeliği garanti eder.
kalite kontrol
Tutarlı ürün kalitesini sağlamak için ISO 9001 kalite yönetim sistemine sıkı sıkıya bağlıyız:
- Kaynaktan kaliteyi garanti etmek için hammaddelerin %100 denetimi;
- Hassas ve güvenilir süreçler için gelişmiş sıcak-presleme üretim hatlarının kullanılması;
- Yoğunluk, sertlik ve mikro yapı analizi dahil{0}şirket içi performans testleri;
- Üçüncü taraf-yetkili sertifikalara sahip olmak (SGS, CE, ROHS gibi, istek üzerine sağlanır).
Sertifikalar ve Onurlar
Şirket, Ulusal Yüksek{0}}Teknoloji Kuruluşu olarak tanınmaktadır ve Shaoxing Şehri'nin "Seçkin Akademisyenler Ülkesi"nde önde gelen bir yetenek projesidir. Olağanüstü Ar-Ge ekibimiz, silisyum karbür, yüksek-saflıkta silisyum karbür, bor karbür, elmas silisyum karbür, itriyum oksit, alüminyum oksit ve alüminyum nitrür dahil olmak üzere gelişmiş seramik malzemeler ve bileşenler konusunda uzmanlaşmış profesörlerden ve doktoralı kişilerden oluşur. 30'dan fazla Çin patenti aldık. Sinterleme, şekillendirme, taşlama, CNC işleme, lazer delme, alıştırma ve cilalama gibi ileri teknolojik süreçlere ve mastering tekniklerine sahibiz. Her türlü seramik ürünü müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştiriyoruz.
fabrika gücü
Dijital atölyelerimiz, Akıllı Fabrikamız ve gerçek-zamanlı veri toplama sistemlerimiz, israfı en aza indirmek ve kaynak verimliliğini en üst düzeye çıkarmak için yalın üretim ilkelerinden yararlanır. CNC işleme teknolojisini, Endüstriyel Nesnelerin İnterneti (IIoT) teknolojisini ve otomatik kontrol sistemlerini birleştirerek, üretim ekipmanları arasında kesintisiz bağlantı ve işbirliğine dayalı çalışma elde ediyoruz ve böylece üretim tasarrufunu en üst düzeye çıkarıyoruz.
Popüler Etiketler: hazne ek parçası, hazne ek parçası üreticileri, tedarikçiler, fabrika
